Сістэмы астуджэння вадкага азоту шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловасці паўправаднікоў і чыпаў, у тым ліку ў працэсе,
- Тэхналогія эпітакксіі малекулярнага прамяня (MBE)
- Тэст чыпа пасля пакета COB
Адпаведныя тавары
Вакуумныя ізаляваныя серыі труб
Вакуум -ізаляваны гнуткі шланг
Дынамічная сістэма вакуумнага помпы
Вакуумны ізаляваны серыя фаз
Вакуумны ізаляваны серыял клапана
Абсталяванне падтрымкі сістэмы трубаправодаў
Малекулярны эпітаксію прамяня
Тэхналогія эпітакксіі малекулярнага прамяня (MBE) была распрацавана ў 1950 -х гадах для падрыхтоўкі паўправадніковых тонкіх фільмаў з выкарыстаннем тэхналогіі выпарэння вакууму. З развіццём ультра-высокіх вакуумных тэхналогій прымяненне тэхналогіі было распаўсюджана на поле паўправадніковай навукі.
HL заўважыў попыт на сістэму астуджэння азотнага азоту MBE, арганізаваную тэхнічную аснову для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы азотнага азоту MBE для тэхналогіі MBE і поўнага набору вакуумнай ізаляванай сістэмы трубаправодаў, якая выкарыстоўваецца ў многіх прадпрыемствах, універсітэтах і навукова -даследчых установах.
Агульныя праблемы паўправадніковай і чып -галіны ўключаюць,
- Ціск вадкага азоту на тэрмінальнае (MBE) абсталявання. Прадухіляйце перагрузку ціску ад пашкоджання тэрмінальнага (MBE) абсталявання.
- Некалькі криогенных вадкасных і выхадных элементаў кіравання
- Тэмпература вадкага азоту ў тэрмінальнае абсталяванне
- Разумная колькасць крыёгенных выкідаў газу
- (Аўтаматычнае) Пераключэнне асноўных і разгалінаваных ліній
- Карэкціроўка ціску (памяншэнне) і стабільнасць VIP
- Ачыстка магчымых прымешак і рэшткаў лёду з рэзервуара
- Час запаўнення тэрмінальнага вадкага абсталявання
- Правілаванне трубаправода
- Вадкае супраціўленне ў VIP -сістэме
- Страта кантролю вадкага азоту падчас перарывістага абслугоўвання сістэмы
Вакуумная ізаляваная труба HL (VIP) пабудаваны для кода трубаправода ASME B31.3 у якасці стандарту. Інжынерны вопыт і магчымасць кантролю якасці забяспечваць эфектыўнасць і эканамічную эфектыўнасць завода кліента.
Рашэнні
HL Cryogenic Equipment забяспечвае кліентам вакуумную ізаляваную сістэму трубаправодаў для задавальнення патрабаванняў і ўмоў паўправадніковай і чып -прамысловасці:
1. Сістэма кіравання якасцю: код трубаправодаў ASME B31.3.
2. Спецыяльны фазавы сепаратар з некалькімі криогенный вадкаснымі ўваходамі і выхадам з аўтаматычнай функцыяй кіравання адпавядае патрабаванню выкіду газу, перапрацаванага вадкага азоту і тэмпературы вадкага азоту.
3. Адпачыва і своечасовая выхлапная канструкцыя гарантуе, што тэрмінальнае абсталяванне заўсёды працуе ў рамках распрацаванага значэння ціску.
4. Газавая вадкасць змешчаны ў вертыкальную VI трубу ў канцы VI. Газа-вадкасць выкарыстоўвае прынцып газу ўшчыльнення для блакавання цяпла з канца трубаправода VI на трубаправод VI і эфектыўна зніжае страту вадкага азоту падчас перарывістых і перарывістых службаў сістэмы.
5.VI трубаправоды, якія кантралююцца серыяй вакуумнага ізаляванага клапана (VIV): у тым ліку вакуумным ізаляваным (пнеўматычным) закрытым клапанам, вакуумным ізаляваным клапанам, вакуумным ізаляваным рэгуляваным клапанам і г.д. Розныя тыпы VIV могуць быць модульнымі, каб кантраляваць VIP. VIV інтэграваны з VIP-зборнай у вытворцы, без ізаляванага лячэння на месцы. Ушчыльненне VIV можна лёгка замяніць. (HL прымае брэнд криогенного клапана, прызначаная кліентамі, а затым робіць вакуумныя ізаляваныя клапаны HL. Некаторыя маркі і мадэлі клапанаў не могуць быць зроблены ў вакуумныя ізаляваныя клапаны.)
6.Cleanliness, калі ёсць дадатковыя патрабаванні да чысціні паверхні ўнутранай трубкі. Мяркуецца, што кліенты выбіраюць трубы з нержавеючай сталі BA або EP ў якасці ўнутраных труб VIP для далейшага зніжэння разліву з нержавеючай сталі.
7. Вакуум Ізаляваны фільтр: ачысціце магчымыя прымешкі і рэшткі лёду з рэзервуара.
8. Пасля некалькіх дзён і больш доўгага адключэння або абслугоўвання, вельмі неабходна папярэдне ахапіць VI трубаправодныя і тэрмінальныя абсталяванне, перш чым уводзіцца криогенная вадкасць, каб пазбегнуць ледзяной слізгацення пасля крыёгеннай вадкасці непасрэдна трапляе ў VI трубаправодныя і тэрмінальныя абсталяванне. Функцыя папярэдняга ахаладжэння варта ўлічваць у дызайне. Гэта забяспечвае лепшую абарону для тэрмінальнага абсталявання і абсталявання для падтрымкі трубаправодаў, такіх як клапаны.
9.
10.Dynamic вакуумнай ізаляванай (гнуткай) сістэмай трубаправодаў: складаецца з VI гнуткіх шлангаў і/або VI трубы, шлангі перамычкі, вакуумнай ізаляванай сістэмы клапана, сепаратараў фаз і дынамічнай вакуумнай помпавай сістэмы (уключаючы вакуумныя помпы, электрамагнітныя клапаны і вакуумныя датчыкі і г.д.). Даўжыня аднаго гнуткага шланга VI можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі карыстальніка.
11. Можна выбраць тыпы злучэння: вакуумнае злучэнне штык (VBC) і зварнае злучэнне. Тыпу VBC не патрабуецца ізаляванае лячэнне на месцы.
