Сістэмы астуджэння вадкім азотам шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловасці паўправаднікоў і мікрасхем, у тым ліку ў працэсе,
- Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (МПЭ)
- Тэст чыпа пасля ўпакоўкі COB
Спадарожныя тавары
Серыя труб з вакуумнай ізаляцыяй
Серыя гнуткіх шлангаў з вакуумнай ізаляцыяй
Сістэма дынамічнага вакуумнага помпы
Серыя фазавых сепаратараў з вакуумнай ізаляцыяй
Серыя клапанаў з вакуумнай ізаляцыяй
Апорнае абсталяванне для сістэмы трубаправодаў
Малекулярна-прамянёвая эпітаксія
Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) была распрацавана ў 1950-х гадах для атрымання паўправадніковых тонкаплёнкавых матэрыялаў з выкарыстаннем тэхналогіі вакуумнага выпарвання. З развіццём тэхналогіі звышвысокага вакууму прымяненне тэхналогіі было пашырана ў галіне навукі аб паўправадніках.
Кампанія HL заўважыла попыт на сістэму астуджэння вадкім азотам MBE, арганізавала тэхнічную аснову для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы астуджэння вадкім азотам MBE для тэхналогіі MBE і поўнага камплекта сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй, якая выкарыстоўвалася на многіх прадпрыемствах, універсітэтах і навукова-даследчых інстытутах. .
Агульныя праблемы індустрыі паўправаднікоў і мікрасхем ўключаюць:
- Ціск вадкага азоту ў тэрмінальнае абсталяванне (MBE). Прадухіленне перагрузкі ціскам ад пашкоджання тэрмінальнага абсталявання (MBE).
- Некалькі элементаў кіравання ўваходам і выхадам крыягеннай вадкасці
- Тэмпература вадкага азоту ў тэрмінальнае абсталяванне
- Разумная колькасць выкідаў крыягенных газаў
- (Аўтаматычнае) пераключэнне магістральных і адгалінаваных ліній
- Рэгуляванне ціску (зніжэнне) і стабільнасць VIP
- Ачыстка рэзервуара ад магчымых забруджванняў і рэшткаў лёду
- Час запаўнення тэрмінальнага вадкаснага абсталявання
- Папярэдняе астуджэнне трубаправода
- Супраціў вадкасцям у сістэме VIP
- Кантралюйце страты вадкага азоту падчас перапыненай працы сістэмы
Труба з вакуумнай ізаляцыяй (VIP) HL пабудавана ў адпаведнасці з кодам напорных трубаправодаў ASME B31.3 у якасці стандарту. Інжынерны вопыт і здольнасць кантраляваць якасць для забеспячэння эфектыўнасці і эканамічнай эфектыўнасці завода заказчыка.
РАШЭННІ
HL Cryogenic Equipment прадастаўляе кліентам сістэму трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй для задавальнення патрабаванняў і ўмоў індустрыі паўправаднікоў і мікрасхем:
1. Сістэма менеджменту якасці: Код напорных трубаправодаў ASME B31.3.
2. Спецыяльны фазавы сепаратар з некалькімі ўваходнымі і выхаднымі адтулінамі для крыягеннай вадкасці з функцыяй аўтаматычнага кіравання адпавядае патрабаванням выкідаў газаў, перапрацаванага вадкага азоту і тэмпературы вадкага азоту.
3. Адэкватная і своечасовая канструкцыя выхлапу гарантуе, што тэрмінальнае абсталяванне заўсёды працуе ў межах праектнага значэння ціску.
4. Газавадкасны бар'ер размяшчаецца ў вертыкальнай трубе VI у канцы трубаправода VI. Газавадкасны бар'ер выкарыстоўвае прынцып газавага ўшчыльнення, каб перакрыць цяпло ад канца трубаправода VI да трубаправода VI і эфектыўна паменшыць страты вадкага азоту падчас перыядычнай і перыядычнай працы сістэмы.
5.VI Трубаправоды, якія кіруюцца серыяй клапанаў з вакуумнай ізаляцыяй (VIV): уключаючы (пнеўматычны) запорны клапан з вакуумнай ізаляцыяй, зваротны клапан з вакуумнай ізаляцыяй, які рэгулюе клапан з вакуумнай ізаляцыяй і г. д. Розныя тыпы VIV могуць быць модульна аб'яднаны для кіравання VIP як патрабуецца. VIV інтэграваны з VIP зборнай устаноўкай на вытворцы, без ізаляцыйнай апрацоўкі на месцы. Блок ушчыльнення VIV можна лёгка замяніць. (HL прымае марку крыягенных клапанаў, прызначаную кліентамі, а затым вырабляе клапаны з вакуумнай ізаляцыяй. HL некаторыя маркі і мадэлі клапанаў не могуць быць выраблены ў клапаны з вакуумнай ізаляцыяй.)
6. Чысціня, калі ёсць дадатковыя патрабаванні да чысціні паверхні ўнутранай трубы. Рэкамендуецца, каб кліенты выбіралі трубы з нержавеючай сталі BA або EP у якасці ўнутраных труб VIP для далейшага памяншэння разліву нержавеючай сталі.
7. Фільтр з вакуумнай ізаляцыяй: ачысціце рэзервуар ад магчымых забруджванняў і рэшткаў лёду.
8. Пасля некалькіх дзён або больш працяглага адключэння або тэхнічнага абслугоўвання вельмі неабходна папярэдне астудзіць трубаправоды VI і тэрмінальнае абсталяванне перад уводам крыягеннай вадкасці, каб пазбегнуць ледзянога дзындры пасля непасрэднага траплення крыягеннай вадкасці ў трубаправоды VI і тэрмінальнае абсталяванне. Пры распрацоўцы неабходна ўлічваць функцыю папярэдняга астуджэння. Гэта забяспечвае лепшую абарону тэрмінальнага абсталявання і апорнага абсталявання для трубаправодаў VI, напрыклад клапанаў.
9.Касцюм як для дынамічнай, так і для статычнай (гнуткай) сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй.
10. Дынамічная (гнуткая) сістэма трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй: складаецца з гнуткіх шлангаў VI і/або трубы VI, перамычак, сістэмы клапанаў з вакуумнай ізаляцыяй, фазавых сепаратараў і сістэмы дынамічных вакуумных помпаў (уключаючы вакуумныя помпы, электрамагнітныя клапаны і вакуумметры і г.д. ). Даўжыню аднаго гнуткага шланга VI можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі карыстальніка.
11. Розныя тыпы злучэнняў: можна выбраць тып вакуумнага байонетнага злучэння (VBC) і зварное злучэнне. Тып VBC не патрабуе ізаляцыі на месцы.
