Сістэмы астуджэння вадкім азотам шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай і мікрасхемнай прамысловасці, у тым ліку ў працэсе,
- Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE)
- Тэст чыпа пасля ўпакоўкі COB
Звязаныя тавары
Серыя вакуумна-ізаляваных труб
Серыя гнуткіх шлангаў з вакуумнай ізаляцыяй
Дынамічная сістэма вакуумнага помпы
Серыя вакуумных ізаляваных фазавых сепаратараў
Серыя вакуумных ізаляваных клапанаў
Абсталяванне для падтрымкі трубаправодных сістэм
МАЛЕКУЛЯРНА-ПУЧКОВАЯ ЭПІТАКСІЯ
Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) была распрацавана ў 1950-х гадах для атрымання тонкаплёнкавых паўправадніковых матэрыялаў з выкарыстаннем тэхналогіі вакуумнага выпарэння. З развіццём тэхналогіі звышвысокага вакууму прымяненне тэхналогіі пашырылася на вобласць паўправадніковай навукі.
Кампанія HL заўважыла попыт на сістэму астуджэння вадкім азотам MBE, арганізавала тэхнічную базу для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы астуджэння вадкім азотам MBE для тэхналогіі MBE і поўнага камплекта вакуумна-ізаляваных трубаправодаў, якія выкарыстоўваюцца на многіх прадпрыемствах, універсітэтах і навукова-даследчых інстытутах.
Да распаўсюджаных праблем паўправадніковай і чып-прамысловасці адносяцца:
- Ціск вадкага азоту ў тэрмінальным абсталяванні (MBE). Прадухіленне перагрузкі ціскам з-за пашкоджання тэрмінальнага абсталявання (MBE).
- Некалькі элементаў кіравання ўваходам і выхадам крыягеннай вадкасці
- Тэмпература вадкага азоту ў тэрмінальным абсталяванні
- Разумная колькасць крыягенных газавых выкідаў
- (Аўтаматычнае) пераключэнне галоўных і адгалінаваных ліній
- Рэгуляванне (зніжэнне) ціску і стабільнасць VIP
- Ачыстка рэзервуара ад магчымых прымешак і рэшткаў лёду
- Час запаўнення тэрмінальнага абсталявання для вадкасці
- Папярэдняе астуджэнне трубаправода
- Супраціўленне вадкасцям у VIP-сістэме
- Кантралюйце страты вадкага азоту падчас перарывістай працы сістэмы
Вакуумнаізаляваныя трубы (VIP) кампаніі HL вырабляюцца ў адпаведнасці са стандартам ASME B31.3 «Напорныя трубаправоды». Вопыт інжынераў і здольнасць кантраляваць якасць забяспечваюць эфектыўнасць і эканамічную эфектыўнасць завода кліента.
РАШЭННІ
HL Cryogenic Equipment прапануе кліентам вакуумна-ізаляваныя трубаправодныя сістэмы, якія адпавядаюць патрабаванням і ўмовам паўправадніковай і мікрасхемнай прамысловасці:
1. Сістэма менеджменту якасці: ASME B31.3 Кодэкс па напорных трубаправодах.
2. Спецыяльны фазавы сепаратар з некалькімі ўваходнымі і выхаднымі адтулінамі для крыягеннай вадкасці з функцыяй аўтаматычнага кіравання адпавядае патрабаванням па выкідах газу, перапрацаваным вадкім азоту і тэмпературы вадкага азоту.
3. Адэкватная і своечасовая канструкцыя выхлапной сістэмы гарантуе, што тэрмінальнае абсталяванне заўсёды працуе ў межах разлічанага значэння ціску.
4. Газавадкасны бар'ер усталёўваецца ў вертыкальнай трубе VI ў канцы трубаправода VI. Газавадкасны бар'ер выкарыстоўвае прынцып газавага ўшчыльнення для блакавання цяпла ад канца трубаправода VI ў трубаправод VI і эфектыўна змяншае страты вадкага азоту падчас перарывістай і перыядычнай працы сістэмы.
5. Трубаправоды VI, якія кіруюцца вакуумнымі ізаляванымі клапанамі серыі (VIV): у тым ліку вакуумныя ізаляваныя (пнеўматычныя) запорныя клапаны, вакуумныя ізаляваныя зваротныя клапаны, вакуумныя ізаляваныя рэгулюючыя клапаны і г.д. Розныя тыпы VIV можна аб'ядноўваць модульна для кіравання VIP па меры неабходнасці. VIV інтэграваны з VIP, гатовай да вытворчасці, без неабходнасці ізаляцыі на месцы. Ушчыльняльны блок VIV можна лёгка замяніць. (HL прымае марку крыягенных клапанаў, вызначаную кліентамі, а затым вырабляе вакуумныя ізаляваныя клапаны самастойна. Некаторыя маркі і мадэлі клапанаў могуць быць недаступныя для пераўтварэння ў вакуумныя ізаляваныя клапаны.)
6. Чысціня, калі ёсць дадатковыя патрабаванні да чысціні паверхні ўнутранай трубы. Рэкамендуецца, каб кліенты выбіралі трубы з нержавеючай сталі BA або EP у якасці ўнутраных труб VIP, каб яшчэ больш паменшыць разліў нержавеючай сталі.
7. Вакуумны ізаляваны фільтр: ачысціце рэзервуар ад магчымых прымешак і рэшткаў лёду.
8. Пасля некалькіх дзён ці больш працяглага перапынку або тэхнічнага абслугоўвання вельмі неабходна папярэдняе астуджэнне трубаправодаў VI і абсталявання для аварыйнага патоку перад трапленнем крыягеннай вадкасці, каб пазбегнуць абледзянення пасля непасрэднага траплення крыягеннай вадкасці ў трубаправоды VI і абсталяванне для аварыйнага патоку. Функцыя папярэдняга астуджэння павінна быць улічана пры праектаванні. Яна забяспечвае лепшую абарону абсталявання для аварыйнага патоку і абсталявання для падтрымкі трубаправодаў VI, напрыклад, клапанаў.
9. Падыходзіць як для дынамічных, так і для статычных вакуумна-ізаляваных (гнуткіх) трубаправодных сістэм.
10. Дынамічная вакуумна-ізаляваная (гнуткая) сістэма трубаправодаў: складаецца з гнуткіх вакуумна-ізаляваных шлангаў і/або трубы з высокай шчыльнасцю, перамычак, сістэмы вакуумна-ізаляваных клапанаў, фазавых сепаратараў і дынамічнай вакуумнай помпы (у тым ліку вакуумных помпаў, электрамагнітных клапанаў, вакуумметраў і г.д.). Даўжыню аднаго гнуткага вакуумна-ізаляванага шланга можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі карыстальніка.
11. Розныя тыпы злучэнняў: можна выбраць тып вакуумнага баянетнага злучэння (VBC) і зварнога злучэння. Тып VBC не патрабуе ізаляцыі на месцы.
