Карпусы і рашэнні для паўправаднікоў і мікрасхем

/паўправадніковыя-і-чып-корпусы-рашэнні/
/паўправадніковыя-і-чып-корпусы-рашэнні/
/паўправадніковыя-і-чып-корпусы-рашэнні/
/паўправадніковыя-і-чып-корпусы-рашэнні/

Сістэмы астуджэння вадкім азотам шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловасці паўправаднікоў і мікрасхем, у тым ліку ў працэсе,

  • Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (МПЭ)
  • Тэст чыпа пасля ўпакоўкі COB

Спадарожныя тавары

Малекулярна-прамянёвая эпітаксія

Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) была распрацавана ў 1950-х гадах для атрымання паўправадніковых тонкаплёнкавых матэрыялаў з выкарыстаннем тэхналогіі вакуумнага выпарвання.З развіццём тэхналогіі звышвысокага вакууму прымяненне тэхналогіі было пашырана ў галіне навукі аб паўправадніках.

Кампанія HL заўважыла попыт на сістэму астуджэння вадкім азотам MBE, арганізавала тэхнічную аснову для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы астуджэння вадкім азотам MBE для тэхналогіі MBE і поўнага камплекта сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй, якая выкарыстоўвалася на многіх прадпрыемствах, універсітэтах і навукова-даследчых інстытутах. .

Агульныя праблемы індустрыі паўправаднікоў і мікрасхем ўключаюць:

  • Ціск вадкага азоту ў тэрмінальнае абсталяванне (MBE).Прадухіленне перагрузкі ціскам ад пашкоджання тэрмінальнага абсталявання (MBE).
  • Некалькі элементаў кіравання ўваходам і выхадам крыягеннай вадкасці
  • Тэмпература вадкага азоту ў тэрмінальнае абсталяванне
  • Разумная колькасць выкідаў крыягенных газаў
  • (Аўтаматычнае) пераключэнне магістральных і адгалінаваных ліній
  • Рэгуляванне ціску (зніжэнне) і стабільнасць VIP
  • Ачыстка рэзервуара ад магчымых забруджванняў і рэшткаў лёду
  • Час запаўнення тэрмінальнага вадкаснага абсталявання
  • Папярэдняе астуджэнне трубаправода
  • Супраціў вадкасцям у сістэме VIP
  • Кантралюйце страты вадкага азоту падчас перапыненай працы сістэмы

Труба з вакуумнай ізаляцыяй (VIP) HL пабудавана ў адпаведнасці з кодам напорных трубаправодаў ASME B31.3 у якасці стандарту.Інжынерны вопыт і здольнасць кантраляваць якасць для забеспячэння эфектыўнасці і эканамічнай эфектыўнасці завода заказчыка.

РАШЭННІ

HL Cryogenic Equipment прадастаўляе кліентам сістэму трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй для задавальнення патрабаванняў і ўмоў індустрыі паўправаднікоў і мікрасхем:

1. Сістэма менеджменту якасці: Код напорных трубаправодаў ASME B31.3.

2. Спецыяльны фазавы сепаратар з некалькімі ўваходнымі і выхаднымі адтулінамі для крыягеннай вадкасці з функцыяй аўтаматычнага кіравання адпавядае патрабаванням выкідаў газаў, перапрацаванага вадкага азоту і тэмпературы вадкага азоту.

3. Адэкватная і своечасовая канструкцыя выхлапу гарантуе, што тэрмінальнае абсталяванне заўсёды працуе ў межах праектнага значэння ціску.

4. Газавадкасны бар'ер размяшчаецца ў вертыкальнай трубе VI у канцы трубаправода VI.Газавадкасны бар'ер выкарыстоўвае прынцып газавага ўшчыльнення, каб перакрыць цяпло ад канца трубаправода VI да трубаправода VI і эфектыўна паменшыць страты вадкага азоту падчас перыядычнай і перыядычнай працы сістэмы.

5.VI Трубаправоды, якія кіруюцца серыяй клапанаў з вакуумнай ізаляцыяй (VIV): уключаючы (пнеўматычны) запорны клапан з вакуумнай ізаляцыяй, зваротны клапан з вакуумнай ізаляцыяй, які рэгулюе клапан з вакуумнай ізаляцыяй і г. д. Розныя тыпы VIV могуць быць модульна аб'яднаны для кіравання VIP як патрабуецца.VIV інтэграваны з VIP зборнай устаноўкай на вытворцы, без ізаляцыйнай апрацоўкі на месцы.Блок ушчыльнення VIV можна лёгка замяніць.(HL прымае марку крыягенных клапанаў, прызначаную кліентамі, а затым вырабляе клапаны з вакуумнай ізаляцыяй. HL некаторыя маркі і мадэлі клапанаў не могуць быць выраблены ў клапаны з вакуумнай ізаляцыяй.)

6. Чысціня, калі ёсць дадатковыя патрабаванні да чысціні паверхні ўнутранай трубы.Рэкамендуецца, каб кліенты выбіралі трубы з нержавеючай сталі BA або EP у якасці ўнутраных труб VIP для далейшага памяншэння разліву нержавеючай сталі.

7. Фільтр з вакуумнай ізаляцыяй: ачысціце рэзервуар ад магчымых забруджванняў і рэшткаў лёду.

8. Пасля некалькіх дзён або больш працяглага адключэння або тэхнічнага абслугоўвання вельмі неабходна папярэдне астудзіць трубаправоды VI і тэрмінальнае абсталяванне перад паступленнем крыягеннай вадкасці, каб пазбегнуць ледзянога шлаку пасля непасрэднага траплення крыягеннай вадкасці ў трубаправоды VI і тэрмінальнае абсталяванне.Пры распрацоўцы неабходна ўлічваць функцыю папярэдняга астуджэння.Гэта забяспечвае лепшую абарону тэрмінальнага абсталявання і апорнага абсталявання для трубаправодаў VI, напрыклад клапанаў.

9.Касцюм як для дынамічнай, так і для статычнай (гнуткай) сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй.

10. Дынамічная (гнуткая) сістэма трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй: складаецца з гнуткіх шлангаў VI і/або трубы VI, перамычак, сістэмы клапанаў з вакуумнай ізаляцыяй, фазавых сепаратараў і сістэмы дынамічных вакуумных помпаў (уключаючы вакуумныя помпы, электрамагнітныя клапаны і вакуумметры і г.д. ).Даўжыню аднаго гнуткага шланга VI можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі карыстальніка.

11. Розныя тыпы злучэнняў: можна выбраць тып вакуумнага байонетнага злучэння (VBC) і зварное злучэнне.Тып VBC не патрабуе ізаляцыі на месцы.