Кароткае апісанне сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй у крыягенных прымяненнях у вытворчасці мікрасхем

Вытворчасць і праектаванне сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй для транспарціроўкі вадкага азоту з'яўляецца абавязкам пастаўшчыка.Для гэтага праекта, калі пастаўшчык не мае ўмоў для вымярэння на месцы, чарцяжы напрамкі трубаправода павінны быць прадастаўлены домам.Затым пастаўшчык распрацуе сістэму трубаправодаў VI для сцэнарыяў з вадкім азотам.

Пастаўшчык павінен завяршыць агульны праект трубаправоднай сістэмы вопытнымі праекціроўшчыкамі ў адпаведнасці з чарцяжамі, параметрамі абсталявання, умовамі пляцоўкі, характарыстыкамі вадкага азоту і іншымі фактарамі, прадстаўленымі заказчыкам.

Змест распрацоўкі ўключае ў сябе тып сістэмных аксесуараў, вызначэнне матэрыялу і спецыфікацый унутраных і вонкавых труб, праект схемы ізаляцыі, схему зборнай секцыі, форму злучэння паміж секцыямі трубы, унутраны кранштэйн трубы , колькасць і становішча вакуумнага клапана, ліквідацыю газавага ўшчыльнення, патрабаванні да крыягеннай вадкасці тэрмінальнага абсталявання і г. д. Гэтая схема павінна быць праверана прафесійным персаналам заказчыка перад вытворчасцю.

Змест канструкцыі сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй шырокі, тут, каб HASS прыкладанняў і абсталявання MBE ў некаторых агульных праблемах, просты чат.

1 2

В. І. Трубаправод

Рэзервуар для захоўвання вадкага азоту звычайна доўгі ад абсталявання HASS Application або MBE.У той час як труба з вакуумнай ізаляцыяй уваходзіць у будынак у памяшканні, яе трэба разумна пазбягаць у залежнасці ад планіроўкі пакоя ў будынку і размяшчэння палявой трубы і паветравода.Таму транспартаваць вадкі азот да абсталявання неабходна не менш за сотні метраў трубы.

Паколькі сам сціснуты вадкі азот змяшчае вялікую колькасць газу ў спалучэнні з адлегласцю транспарціроўкі, нават вакуумная адыябатычная труба будзе вырабляць вялікую колькасць азоту ў працэсе транспарціроўкі.Калі азот не выкідваецца або выкіды занадта нізкія, каб адпавядаць патрабаванням, гэта выкліча супраціў газу і прывядзе да дрэннага патоку вадкага азоту, што прывядзе да значнага зніжэння хуткасці патоку.

Калі хуткасць патоку недастатковая, нельга кантраляваць тэмпературу ў камеры вадкага азоту абсталявання, што ў канчатковым выніку можа прывесці да пашкоджання абсталявання або якасці прадукцыі.

Такім чынам, неабходна разлічыць колькасць вадкага азоту, які выкарыстоўваецца тэрмінальным абсталяваннем (абсталяванне HASS Application або MBE).У той жа час тэхнічныя характарыстыкі трубаправода таксама вызначаюцца ў залежнасці ад яго даўжыні і кірунку.

Пачынаючы з рэзервуара для захоўвання вадкага азоту, калі асноўны трубаправод трубы/шланга з вакуумнай ізаляцыяй мае DN50 (унутраны дыяметр φ50 мм), яго адгалінаванне трубы/шланга VI мае DN25 (унутраны дыяметр φ25 мм), а шланг паміж патрубком і канцавое абсталяванне - DN15 (унутраны дыяметр φ15 мм).Іншыя фітынгі для сістэмы трубаправодаў VI, у тым ліку фазавы сепаратар, дэгазатар, аўтаматычны газаадвод, VI/крыягенны (пнеўматычны) запорны клапан, VI пнеўматычны клапан рэгулявання патоку, VI/крыягенны зваротны клапан, VI фільтр, ахоўны ахоўны клапан, сістэма прадуўкі, і вакуумны помпа і г.д.

3

Спецыяльны фазавы сепаратар MBE

Кожны спецыяльны фазавы сепаратар нармальнага ціску MBE выконвае наступныя функцыі:

1. Датчык узроўню вадкасці і сістэма аўтаматычнага кантролю ўзроўню вадкасці, якія хутка адлюстроўваюцца праз электрычны блок кіравання.

2. Функцыя зніжэння ціску: ўваход вадкасці ў сепаратар абсталяваны дапаможнай сістэмай сепаратара, якая гарантуе ціск вадкага азоту 3-4 бар у галоўнай трубе.Пры ўваходзе ў фазавы сепаратар няўхільна зніжайце ціск да ≤ 1 бара.

3. Рэгуляванне патоку вадкасці на ўваходзе: сістэма кантролю плавучасці размешчана ўнутры фазавага сепаратара.Яго функцыя - аўтаматычна рэгуляваць колькасць спажыванай вадкасці пры павелічэнні або памяншэнні спажывання вадкага азоту.Гэта мае перавагу ў памяншэнні рэзкіх ваганняў ціску, выкліканых паступленнем вялікай колькасці вадкага азоту, калі ўваходны пнеўматычны клапан адкрыты, і прадухіленні залішняга ціску.

4. Функцыя буфера, эфектыўны аб'ём ўнутры сепаратара гарантуе максімальны імгненны паток прылады.

5. Сістэма ачысткі: паветраны паток і вадзяная пара ў сепаратары перад праходжаннем вадкага азоту і выпуск вадкага азоту ў сепаратары пасля праходжання вадкага азоту.

6. Функцыя аўтаматычнага скіду залішняга ціску: пры першапачатковым праходжанні абсталявання праз вадкі азот або пры асаблівых абставінах павялічваецца газіфікацыя вадкага азоту, што прыводзіць да імгненнага залішняга ціску ва ўсёй сістэме.Наш фазавы сепаратар абсталяваны ахоўным ахоўным клапанам і групай ахоўных ахоўных клапанаў, якія могуць больш эфектыўна забяспечваць стабільнасць ціску ў сепаратары і прадухіляць пашкоджанне абсталявання MBE празмерным ціскам.

7. Электрычная скрынка кіравання, адлюстраванне ў рэжыме рэальнага часу ўзроўню вадкасці і значэння ціску, можа ўсталяваць узровень вадкасці ў сепаратары і вадкі азот у колькасць кантрольных адносін.Адначасова.У экстраных выпадках ручное тармажэнне сепаратара газу і вадкасці ў клапан кіравання вадкасцю, для забеспячэння бяспекі персаналу і абсталявання на месцы.

4

Шмат'ядравы дэгазатар для прыкладанняў HASS

Рэзервуар для захоўвання вадкага азоту на адкрытым паветры змяшчае вялікую колькасць азоту, таму што ён захоўваецца і транспартуецца пад ціскам.У гэтай сістэме адлегласць транспарціроўкі па трубаправодзе больш, ёсць больш каленяў і большы супраціў, што прывядзе да частковай газіфікацыі вадкага азоту.Вакуумная ізаляваная трубка - лепшы спосаб транспарціроўкі вадкага азоту ў цяперашні час, але ўцечка цяпла непазбежная, што таксама прывядзе да частковай газіфікацыі вадкага азоту.Падводзячы вынік, вадкі азот змяшчае вялікую колькасць азоту, што прыводзіць да стварэння газавага супраціву, у выніку чаго паток вадкага азоту не з'яўляецца гладкім.

Выцяжное абсталяванне на трубе з вакуумнай ізаляцыяй, калі няма выцяжной прылады або недастатковы аб'ём выхлапу, прывядзе да газавага супраціву.Пасля фарміравання газавага супраціву магутнасць транспарціроўкі вадкага азоту будзе значна зніжана.

Шматжыльны дэгазатар, распрацаваны эксклюзіўна нашай кампаніяй, можа забяспечыць максімальны выкід азоту з асноўнай трубы вадкага азоту і прадухіліць адукацыю газавага супраціву.І шмат'ядравы дэгазатар мае дастатковы ўнутраны аб'ём, можа гуляць ролю буфернага бака для захоўвання, можа эфектыўна задаволіць патрэбы максімальнага імгненнага патоку раствора ў трубаправодзе.

Унікальная запатэнтаваная шмат'ядравая структура, больш эфектыўная ёмістасць выхлапу, чым іншыя нашы тыпы сепаратараў.

5
Працягваючы папярэдні артыкул, ёсць некаторыя праблемы, якія неабходна ўлічваць пры распрацоўцы рашэнняў для сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй для крыягенных прымянення ў індустрыі мікрасхем.

1

Два тыпу сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй

Існуе два тыпы сістэм трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй: статычная сістэма VI і сістэма дынамічнай вакуумнай накачкі.

Сістэма Static VI азначае, што пасля таго, як кожная труба выраблена на заводзе, яна вакуумуецца да зададзенай ступені вакууму на помпавым агрэгаце і герметызуецца.У палявой ўстаноўцы і ўвядзенні ў эксплуатацыю, пэўны перыяд часу не трэба паўторна эвакуіраваць на сайт.

Перавагай сістэмы Static VI з'яўляюцца нізкія выдаткі на абслугоўванне.Пасля таго, як сістэма трубаправодаў будзе ўведзена ў эксплуатацыю, праз некалькі гадоў патрабуецца абслугоўванне.Гэтая вакуумная сістэма падыходзіць для сістэм, якія не патрабуюць высокіх патрабаванняў да астуджэння і адкрытых месцаў для абслугоўвання на месцы.

Недахопам сістэмы Static VI з'яўляецца тое, што вакуум з часам памяншаецца.Паколькі ўсе матэрыялы ўвесь час вылучаюць сляды газаў, што вызначаецца фізічнымі ўласцівасцямі матэрыялу.Матэрыял у абалонцы VI Pipe можа паменшыць колькасць газу, які вылучаецца ў працэсе, але не можа быць цалкам ізаляваны.Гэта прывядзе да вакууму ў закрытай вакуумнай асяроддзі, будзе ўсё ніжэй і ніжэй, вакуумная ізаляцыйная трубка будзе паступова аслабляць астуджальную здольнасць.

Дынамічная вакуумная помпавая сістэма азначае, што пасля таго, як труба выраблена і сфарміравана, труба ўсё яшчэ вакуумуецца на заводзе ў адпаведнасці з працэсам выяўлення ўцечак, але вакуум не зачыняецца перад пастаўкай.Пасля завяршэння мантажу на месцах вакуумныя праслойкі ўсіх труб павінны быць злучаны ў адзін або некалькі блокаў з дапамогай шлангаў з нержавеючай сталі, а невялікі спецыяльны вакуумны помпа павінен выкарыстоўвацца для вакуумавання труб у палявых умовах.Спецыяльны вакуумны помпа мае аўтаматычную сістэму для кантролю вакууму ў любы час і вакуумавання па меры неабходнасці.Сістэма працуе 24 гадзіны ў суткі.

Недахопам дынамічнай вакуумнай помпавай сістэмы з'яўляецца тое, што вакуум павінен падтрымлівацца электрычнасцю.

Перавага дынамічнай вакуумнай помпавай сістэмы ў тым, што ступень вакууму вельмі стабільная.Ён пераважна выкарыстоўваецца ва ўнутраных памяшканнях і патрабуе вельмі высокіх патрабаванняў да прадукцыйнасці вакууму.

Наша дынамічная вакуумная помпавая сістэма, увесь мабільны інтэграваны спецыяльны вакуумны помпа для забеспячэння абсталявання для вакууму, зручная і разумная кампаноўка для забеспячэння эфекту вакууму, якасць вакуумных аксесуараў для забеспячэння якасці вакууму.

Для праекта MBE, таму што абсталяванне знаходзіцца ў чыстым пакоі, і абсталяванне працуе на працягу доўгага часу.Большая частка сістэмы трубаправодаў з вакуумнай ізаляцыяй знаходзіцца ў закрытай прасторы на праслойцы чыстага памяшкання.Ажыццявіць вакуумнае абслугоўванне трубаправоднай сістэмы ў далейшым немагчыма.Гэта сур'ёзна адаб'ецца на працяглай працы сістэмы.У выніку ў праекце MBE выкарыстоўваюцца амаль усе дынамічныя вакуумныя помпавыя сістэмы.

2

Сістэма скіду ціску

Сістэма скіду ціску ў магістралі выкарыстоўвае групу ахоўных клапанаў.Група ахоўных ахоўных клапанаў выкарыстоўваецца ў якасці сістэмы абароны бяспекі, калі залішні ціск, трубаправоды VI не могуць быць адрэгуляваны пры звычайным выкарыстанні

Ахоўны ахоўны клапан з'яўляецца ключавым кампанентам, каб гарантаваць, што ў сістэме трубаправода не будзе залішняга ціску, бяспечнай працы, таму ён мае важнае значэнне ў працы трубаправода.Але ахоўны клапан у адпаведнасці з правіламі, павінен адпраўляцца на праверку кожны год.Калі адзін ахоўны клапан выкарыстоўваецца, а другі падрыхтаваны, калі адзін ахоўны клапан выдалены, другі ахоўны клапан усё яшчэ знаходзіцца ў сістэме трубаправода, каб забяспечыць нармальную працу трубаправода.

Група ахоўных ахоўных клапанаў змяшчае два ахоўныя ахоўныя клапаны DN15, адзін для выкарыстання і адзін для чакання.Пры нармальнай працы толькі адзін ахоўны клапан падлучаны да сістэмы трубаправодаў VI і працуе нармальна.Іншыя ахоўныя клапаны адлучаны ад унутранай трубы і могуць быць заменены ў любы час.Два ахоўныя клапаны злучаюцца і адключаюцца праз стан пераключэння бакавых клапанаў.

Група ахоўных скідных клапанаў абсталявана манометрам для праверкі ціску ў сістэме трубаправодаў у любы час.

Група ахоўнага скіднага клапана забяспечана выпускным клапанам.Ён можа быць выкарыстаны для выпуску паветра ў трубу падчас прадзьмуху, а азот можа быць разраджаны, калі працуе сістэма вадкага азоту.

даў

Крыягеннае абсталяванне HL

Кампанія HL Cryogenic Equipment, заснаваная ў 1992 годзе, з'яўляецца філіялам кампаніі Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company у Кітаі.Кампанія HL Cryogenic Equipment займаецца распрацоўкай і вытворчасцю сістэмы крыягенных трубаправодаў з высокай вакуумнай ізаляцыяй і адпаведнага дапаможнага абсталявання.

У сучасным свеце, які хутка змяняецца, прадастаўленне перадавых тэхналогій пры максімальнай эканоміі сродкаў для кліентаў з'яўляецца складанай задачай.На працягу 30 гадоў кампанія HL Cryogenic Equipment амаль ва ўсім крыягенным абсталяванні і прамысловасці мае больш глыбокі вопыт прымянення, назапасіла багаты вопыт і надзейнасць, пастаянна даследуе і імкнецца ісці ў нагу з апошнімі распрацоўкамі ва ўсіх сферах жыцця, забяспечваючы кліентаў новыя, практычныя і эфектыўныя рашэнні, робяць нашых кліентаў больш канкурэнтаздольнымі на рынку.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Час публікацыі: 25 жніўня 2021 г