Кароткая эпітаксія малекулярнага прамяня (MBE)
Тэхналогія эпітакксіі малекулярнага прамяня (MBE) была распрацавана ў 1950 -х гадах для падрыхтоўкі паўправадніковых тонкіх фільмаў з выкарыстаннем тэхналогіі выпарэння вакууму. З развіццём ультра-высокіх вакуумных тэхналогій прымяненне тэхналогіі было распаўсюджана на поле паўправадніковай навукі.
Матывацыя даследаванняў паўправадніковых матэрыялаў заключаецца ў попыце на новыя прылады, якія могуць павысіць прадукцыйнасць сістэмы. У сваю чаргу, новыя матэрыяльныя тэхналогіі могуць стварыць новае абсталяванне і новыя тэхналогіі. Малекулярны прамень эпітаксі (MBE) - гэта высокая вакуумная тэхналогія для росту эпітаксіяльнага пласта (звычайна паўправадніковага). У ім выкарыстоўваецца цеплавы прамень атамаў крыніц або малекул, якія ўплываюць на падкладку крышталя. Ультра-высокія вакуумныя характарыстыкі працэсу дазваляюць металізацыі на месцы і рост ізаляцыйных матэрыялаў на нядаўна вырашчаных паўправадніковых паверхнях, што прыводзіць да інтэрфейсаў без забруджвання.
Тэхналогія MBE
Малекулярны прамянёвы эпітаксію праводзілася ў высокім вакууме або звышвысокім вакууме (1 х 10-8ПА) навакольнае асяроддзе. Самым важным аспектам эпітаксіі малекулярнага прамяня з'яўляецца яго нізкая хуткасць адкладання, якая, як правіла, дазваляе плёнцы эпітаксіяльна расці са хуткасцю менш за 3000 нм у гадзіну. Такая нізкая хуткасць нанясення патрабуе досыць высокай вакууму для дасягнення таго ж ўзроўню чысціні, што і іншыя метады нанясення.
Для задавальнення звышвысокага вакууму, апісанага вышэй, прыладу MBE （Cell Cell） мае астуджальны пласт, а ўльтравысокая вакуумная серада камеры росту павінна падтрымліваць з дапамогай сістэмы цыркуляцыі азоту. Вадкі азот астуджае ўнутраную тэмпературу прылады да 77 кельвіна (-196 ° С). Навакольнае асяроддзе з нізкай тэмпературай можа яшчэ больш знізіць утрыманне прымешак у вакууме і забяспечыць лепшыя ўмовы для адкладу тонкіх плёнак. Такім чынам, для абсталявання MBE неабходна спецыяльная сістэма астуджэння азотнага азоту, каб забяспечыць бесперапыннае і стабільнае харчаванне вадкага азоту -196 ° C.
Сістэма цыркуляцыі астуджэння вадкага азоту
Сістэма цыркуляцыі астуджэння вакуумнага азоту ў асноўным уключае,
● Крыягенны рэзервуар
● Асноўная і галінка для пыласоса з трубай / пыласосным шлангам
● Спецыяльны фазавы сепаратар MBE і выхлапная труба з пыласосам
● Розныя вакуумныя клапаны
● Газа-вадкасць
● Фільтр з пыласосам
● Дынамічная сістэма вакуумнага помпы
● Сістэма разагрэву папярэдняга астуджэння і чысткі
Кампанія HL Cryogenic Equipment заўважыла попыт на сістэму астуджэння азотнага азоту MBE, арганізаваную тэхнічную аснову для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы азотнага азоту MBE для тэхналогіі MBE і поўны набор вакуумнага інсулатуedСістэма трубаправодаў, якая выкарыстоўваецца ў многіх прадпрыемствах, універсітэтах і навукова -даследчых інстытутах.
HL криогенное абсталяванне
HL Cryogenic Equipment, які быў заснаваны ў 1992 годзе, з'яўляецца брэндам, звязанай з кампаніяй Chengdu Holy Cryogenic Equipment у Кітаі. HL Cryogenic Equipment імкнецца да распрацоўкі і вырабу высокамасовай ізаляванай сістэмы криогенных трубаправодаў і адпаведнага абсталявання для падтрымкі.
Для атрымання дадатковай інфармацыі, калі ласка, наведайце афіцыйны сайтwww.hlcryo.com, альбо па электроннай пошцеinfo@cdholy.com.
Час пасля: май-06-2021
