Кароткі агляд малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE)
Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) была распрацавана ў 1950-х гадах для атрымання тонкаплёнкавых паўправадніковых матэрыялаў з выкарыстаннем тэхналогіі вакуумнага выпарэння. З развіццём тэхналогіі звышвысокага вакууму прымяненне тэхналогіі пашырылася на вобласць паўправадніковай навукі.
Матывацыяй даследаванняў паўправадніковых матэрыялаў з'яўляецца попыт на новыя прылады, якія могуць палепшыць прадукцыйнасць сістэмы. У сваю чаргу, новыя тэхналогіі матэрыялаў могуць прывесці да стварэння новага абсталявання і новых тэхналогій. Малекулярна-прамянёвая эпітаксія (MBE) — гэта тэхналогія высокага вакууму для росту эпітаксіяльнага пласта (звычайна паўправадніка). Яна выкарыстоўвае цеплавы прамень зыходных атамаў або малекул, якія ўздзейнічаюць на монакрышталічную падложку. Характарыстыкі звышвысокага вакууму працэсу дазваляюць металізаваць і вырошчваць ізаляцыйныя матэрыялы in situ на новых паверхнях паўправаднікоў, што прыводзіць да стварэння чыстых міжфазных інтэрфейсаў.
Тэхналогія MBE
Малекулярна-прамянёвая эпітаксія праводзілася ў высокім або звышвысокім вакууме (1 × 10-8асяроддзе Pa). Найважнейшым аспектам малекулярна-прамянёвай эпітаксіі з'яўляецца нізкая хуткасць нанясення, якая звычайна дазваляе плёнцы расці з хуткасцю менш за 3000 нм у гадзіну. Такая нізкая хуткасць нанясення патрабуе дастаткова высокага вакууму для дасягнення таго ж узроўню чысціні, што і пры іншых метадах нанясення.
Каб задаволіць патрабаванні да звышвысокага вакууму, апісаныя вышэй, прылада МПЭ (ячэйка Кнудсена) мае астуджальны пласт, і асяроддзе звышвысокага вакууму ў камеры росту павінна падтрымлівацца з дапамогай сістэмы цыркуляцыі вадкага азоту. Вадкі азот астуджае ўнутраную тэмпературу прылады да 77 Кельвінаў (−196 °C). Нізкая тэмпература асяроддзя можа яшчэ больш знізіць утрыманне прымешак у вакууме і забяспечыць лепшыя ўмовы для нанясення тонкіх плёнак. Такім чынам, для абсталявання МПЭ патрабуецца спецыяльная сістэма цыркуляцыі астуджэння вадкім азотам, каб забяспечыць бесперапынную і стабільную падачу вадкага азоту пры тэмпературы -196 °C.
Сістэма цыркуляцыі астуджэння вадкім азотам
Вакуумная сістэма цыркуляцыі астуджэння вадкім азотам у асноўным уключае ў сябе,
● крыягенны рэзервуар
● галоўная і адгалінаваная вакуумная труба / вакуумны шланг
● Спецыяльны фазавы сепаратар MBE і вакуумная выхлапная труба з абалонкай
● розныя вакуумныя клапаны з абалонкай
● газава-вадкасны бар'ер
● вакуумны фільтр з абалонкай
● дынамічная сістэма вакуумнага помпы
● Сістэма папярэдняга астуджэння і прадуўкі, паўторнага нагрэву
Кампанія HL Cryogenic Equipment заўважыла попыт на сістэму астуджэння вадкім азотам MBE, арганізавала тэхнічную базу для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы астуджэння вадкім азотам MBE для тэхналогіі MBE і поўнага камплекта вакуумнай ізаляцыі.edсістэма трубаправодаў, якая выкарыстоўваецца на многіх прадпрыемствах, ва ўніверсітэтах і навукова-даследчых інстытутах.
Крыягеннае абсталяванне HL
Кампанія HL Cryogenic Equipment, заснаваная ў 1992 годзе, з'яўляецца брэндам, які ўваходзіць у склад кампаніі Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company у Кітаі. HL Cryogenic Equipment займаецца распрацоўкай і вытворчасцю крыягенных трубаправодаў з высокай вакуумнай ізаляцыяй і звязанага з імі дапаможнага абсталявання.
Для атрымання дадатковай інфармацыі, калі ласка, наведайце афіцыйны сайтwww.hlcryo.comабо па электроннай пошцеinfo@cdholy.com.
Час публікацыі: 06 мая 2021 г.
