Кароткая інфармацыя аб малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE)
Тэхналогія малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) была распрацавана ў 1950-х гадах для атрымання паўправадніковых тонкаплёнкавых матэрыялаў з выкарыстаннем тэхналогіі вакуумнага выпарвання.З развіццём тэхналогіі звышвысокага вакууму прымяненне тэхналогіі было пашырана ў галіне навукі аб паўправадніках.
Матывацыяй даследаванняў паўправадніковых матэрыялаў з'яўляецца попыт на новыя прылады, якія могуць палепшыць прадукцыйнасць сістэмы.У сваю чаргу, новыя матэрыяльныя тэхналогіі могуць вырабляць новае абсталяванне і новыя тэхналогіі.Малекулярна-прамянёвая эпітаксія (MBE) - гэта высокавакуумная тэхналогія росту эпітаксіяльнага пласта (звычайна паўправадніковага).Ён выкарыстоўвае цеплавы пучок зыходных атамаў або малекул, якія ўздзейнічаюць на монакрышталічную падкладку.Звышвысокія вакуумныя характарыстыкі працэсу дазваляюць металізаваць на месцы і нарошчваць ізаляцыйныя матэрыялы на нядаўна вырашчаных паверхнях паўправаднікоў, што прыводзіць да чыстых інтэрфейсаў.
Тэхналогія MBE
Малекулярна-прамянёвая эпітаксія праводзілася ў высокім або звышвысокім вакууме (1 х 10-8Па) асяроддзе.Найбольш важным аспектам малекулярна-прамянёвай эпітаксіі з'яўляецца яе нізкая хуткасць нанясення, якая звычайна дазваляе плёнцы эпітаксіяльна расці з хуткасцю менш за 3000 нм у гадзіну.Такая нізкая хуткасць нанясення патрабуе дастаткова высокага вакууму для дасягнення таго ж ўзроўню чысціні, што і іншыя метады нанясення.
Для задавальнення звышвысокага вакууму, апісанага вышэй, прылада MBE （ячэйка Кнудсена） мае астуджальны пласт, і асяроддзе звышвысокага вакууму ў камеры росту павінна падтрымлівацца з дапамогай сістэмы цыркуляцыі вадкага азоту.Вадкі азот астуджае ўнутраную тэмпературу прылады да 77 кельвінаў (−196 °C).Асяроддзе з нізкай тэмпературай можа яшчэ больш паменшыць утрыманне прымешак у вакууме і забяспечыць лепшыя ўмовы для нанясення тонкіх плёнак.Такім чынам, спецыяльная сістэма цыркуляцыі вадкага азоту патрабуецца для абсталявання MBE, каб забяспечыць бесперапынную і стабільную падачу вадкага азоту -196 °C.
Сістэма цыркуляцыі вадкага азоту
Сістэма цыркуляцыі вакуумнага вадкага азоту ў асноўным уключае,
● крыягенны бак
● галоўная і адгалінаваная труба з вакуумнай абалонкай / шланг з вакуумнай абалонкай
● Спецыяльны фазавы сепаратар MBE і выхлапная труба з вакуумнай рубашкай
● розныя клапаны з вакуумнай кашуляй
● газавадкасны бар'ер
● фільтр з вакуумнай рубашкай
● сістэма дынамічнага вакуумнага помпы
● Сістэма папярэдняга астуджэння і прадуўкі паўторнага нагрэву
Кампанія HL Cryogenic Equipment заўважыла попыт на сістэму астуджэння вадкім азотам MBE, арганізавала тэхнічную аснову для паспяховай распрацоўкі спецыяльнай сістэмы астуджэння вадкім азотам MBE для тэхналогіі MBE і поўнага камплекта вакуумнай ізаляцыіedсістэма трубаправодаў, якая выкарыстоўвалася на многіх прадпрыемствах, у ВНУ і навукова-даследчых інстытутах.
Крыягеннае абсталяванне HL
Кампанія HL Cryogenic Equipment, заснаваная ў 1992 годзе, з'яўляецца філіялам кампаніі Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company у Кітаі.Кампанія HL Cryogenic Equipment займаецца распрацоўкай і вытворчасцю сістэмы крыягенных трубаправодаў з высокай вакуумнай ізаляцыяй і адпаведнага дапаможнага абсталявання.
Для атрымання дадатковай інфармацыі, калі ласка, наведайце афіцыйны сайтwww.hlcryo.com, або па электроннай пошцеinfo@cdholy.com.
Час публікацыі: 6 мая 2021 г