Тэхналогія
Малекулярная прамянёвая эпітаксія, альбо MBE, з'яўляецца новай методыкай для вырошчвання якасных тонкіх плёнак крышталяў на крышталічных субстратах. In ultra-high vacuum conditions, by the heating stove is equipped with all kinds of required components and generate steam, through holes formed after collimating beam atomic or molecular beam, direct injection to the appropriate temperature of the single crystal substrate, controlling molecular beam to Сканіраванне субстрата адначасова можа зрабіць малекулы або атамы ў пластах крышталічнага выраўноўвання, утвараючы тонкую плёнку на падкладцы "рост".
Для нармальнай працы абсталявання MBE, высокага чысціні, нізкага ціску і ультра-чыстага вадкага азоту неабходна пастаянна і стабільна транспартавацца ў астуджальную камеру абсталявання. Увогуле, рэзервуар, які забяспечвае вадкі азот, аказвае выхадны ціск паміж 0,3mpa і 0,8 МПА. Пасля таго, як вадкі азот з газавым вадкасцю каля 1: 700 будзе газаваны ў трубаправодзе, ён зойме вялікую колькасць вадкага прасторы азоту і паменшыць нармальны паток у канцы вадкага азотнага трубаправода. Акрамя таго, у вадкім рэзервуары для захоўвання азоту, верагодна, будзе смецце, якое не было ачышчана. У вадкім азотным трубаправодзе наяўнасць мокрага паветра таксама прывядзе да генерацыі дзындраў лёду. Калі гэтыя прымешкі будуць выкінуты ў абсталяванне, гэта нанясе непрадказальны ўрон абсталяванню.
Такім чынам, вадкі азот у рэзервуары на адкрытым паветры транспартуецца да абсталявання MBE ў семінары без пылу з высокай эфектыўнасцю, стабільнасцю і чыстым, а таксама нізкім ціскам, азотам, без прымешак, 24 гадзіны бесперапыннай, такая сістэма кіравання транспартам ёсць кваліфікаваны прадукт.



Адпаведнае абсталяванне MBE
З 2005 года HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) аптымізуе і ўдасканальвае гэтую сістэму і супрацоўнічае з міжнароднымі вытворцамі абсталявання MBE. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA, Reber, маюць сумесныя адносіны з нашай кампаніяй. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA і Reber, супрацоўнічалі ў вялікай колькасці праектаў.
Riber SA - вядучы сусветны правайдэр прадуктаў малекулярнай прамяня (MBE) і звязаныя з імі паслугі для даследаванняў складаных паўправаднікоў і прамысловых прыкладанняў. Прылада MBE Riber можа адкласці вельмі тонкія пласты матэрыялу на падкладку, з вельмі высокім кантролем. Вакуумнае абсталяванне HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) абсталявана Riber SA. Найбуйнейшым абсталяваннем з'яўляецца Riber 6000, а найменшае - кампактнае 21. Ён знаходзіцца ў добрым стане і быў прызнаны кліентамі.
DCA - вядучы ў свеце аксід MBE. З 1993 года было праведзена сістэматычнае развіццё метадаў акіслення, антыаксідантнага нагрэву субстрата і антыаксідантных крыніц. Па гэтай прычыне многія вядучыя лабараторыі абралі тэхналогію аксіду DCA. Кампазітныя паўправадніковыя сістэмы MBE выкарыстоўваюцца па ўсім свеце. Сістэма цыркулюючай азотнай азоту VJ (HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) і абсталяванне MBE з некалькімі мадэлямі DCA маюць адпаведны вопыт у многіх праектах, такіх як Model P600, R450, SGC800 і г.д.

Табліца прадукцыйнасці
Шанхайскі інстытут тэхнічнай фізікі, Кітайская акадэмія навук |
11 -ы інстытут кітайскай карпарацыі па тэхналогіі электронікі |
Інстытут паўправаднікоў, Кітайская акадэмія навук |
Huawei |
Акадэмія Alibaba Damo |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Час паведамлення: мая-26-2021