Праект Chip MBE, завершаны ў мінулыя гады

Тэхналогіі

Малекулярна-прамянёвая эпітаксія, або МПЭ, — гэта новая тэхніка вырошчвання высакаякасных тонкіх крышталічных плёнак на крышталічных падкладках. Ва ўмовах звышвысокага вакууму награвальная печ, абсталяваная ўсімі неабходнымі кампанентамі, генеруе пару. Праз адтуліны, якія ўтвараюцца пасля калімацыі прамяня, атамны або малекулярны прамень непасрэдна ўпырскваецца ў монакрышталічную падкладку да патрэбнай тэмпературы. Кантралюючы малекулярны прамень, скануючы падкладку, адначасова можна прымусіць малекулы або атамы ў крышталічных пластах выраўноўвацца, утвараючы тонкую плёнку на падкладцы.

Для нармальнай працы абсталявання MBE неабходна бесперапынна і стабільна транспартаваць у халадзільную камеру абсталявання высакаякасны, нізкаціскавы і ультрачысты вадкі азот. Як правіла, рэзервуар, які падае вадкі азот, мае выхадны ціск ад 0,3 МПа да 0,8 МПа. Вадкі азот пры тэмпературы -196 ℃ лёгка выпараецца ў азот падчас транспарціроўкі па трубаправодзе. Пасля таго, як вадкі азот з суадносінамі газ-вадкасць каля 1:700 газіфікуецца ў трубаправодзе, ён будзе займаць вялікую колькасць прасторы для патоку вадкага азоту і памяншаць нармальны паток у канцы трубаправода вадкага азоту. Акрамя таго, у рэзервуары для захоўвання вадкага азоту, верагодна, будуць неачышчаныя адходы. У трубаправодзе вадкага азоту наяўнасць вільготнага паветра таксама прывядзе да ўтварэння ледзянога шлаку. Калі гэтыя прымешкі трапяць у абсталяванне, гэта прывядзе да непрадказальных пашкоджанняў абсталявання.

Такім чынам, вадкі азот з вонкавага рэзервуара для захоўвання транспартуецца да абсталявання MBE ў чыстай майстэрні з высокай эфектыўнасцю, стабільнасцю і чысцінёй, а нізкі ціск, адсутнасць азоту, адсутнасць прымешак, 24 гадзіны без перапынку, такая сістэма кіравання транспартам з'яўляецца кваліфікаваным прадуктам.

тсм (4)
тсм (1)
тсм (3)

Адпаведнае абсталяванне MBE

З 2005 года кампанія HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) аптымізуе і ўдасканальвае гэту сістэму, а таксама супрацоўнічае з міжнароднымі вытворцамі абсталявання MBE. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA, REBER, падтрымліваюць партнёрскія адносіны з нашай кампаніяй. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA і REBER, супрацоўнічалі ў вялікай колькасці праектаў.

Riber SA з'яўляецца вядучым сусветным пастаўшчыком прадуктаў малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) і звязаных з імі паслуг для даследаванняў злучэнняў паўправаднікоў і прамысловага прымянення. Прылада Riber MBE можа наносіць вельмі тонкія пласты матэрыялу на падкладку з вельмі высокім кантролем. Вакуумнае абсталяванне HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) абсталявана Riber SA. Найбуйнейшым абсталяваннем з'яўляецца Riber 6000, а найменшым - Compact 21. Ён знаходзіцца ў добрым стане і атрымаў прызнанне кліентаў.

DCA з'яўляецца вядучым у свеце метадам акіслення і множна-лепечнай эмульсіі (MBE). З 1993 года праводзіцца сістэматычнае развіццё метадаў акіслення, награвання антыаксідантных субстратаў і крыніц антыаксідантаў. Па гэтай прычыне многія вядучыя лабараторыі абралі аксідную тэхналогію DCA. Кампазітныя паўправадніковыя сістэмы MBE выкарыстоўваюцца па ўсім свеце. Сістэма цыркуляцыі вадкага азоту VJ крыягеннага абсталявання HL (HL CRYO) і абсталяванне MBE некалькіх мадэляў DCA маюць адпаведны вопыт у многіх праектах, такіх як мадэлі P600, R450, SGC800 і г.д.

тсм (2)

Табліца прадукцыйнасці

Шанхайскі інстытут тэхнічнай фізікі Кітайскай акадэміі навук
11-ы інстытут Кітайскай карпарацыі электронных тэхналогій
Інстытут паўправаднікоў Кітайскай акадэміі навук
Huawei
Акадэмія Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Кампанія «Дэльта Электронікс»
Сучжоу Эвербрайт Фатонікас

Час публікацыі: 26 мая 2021 г.

Пакіньце сваё паведамленне