Тэхналогіі
Малекулярна-прамянёвая эпітаксія, або MBE, - гэта новая методыка вырошчвання высакаякасных тонкіх плёнак крышталяў на крышталічных падкладках. Ва ўмовах звышвысокага вакууму, ацяпляльная пліта абсталявана ўсімі відамі неабходных кампанентаў і выпрацоўвае пар, праз адтуліны, якія ўтвараюцца пасля калімацыі пучка атамнага або малекулярнага пучка, прамы ўпырск да адпаведнай тэмпературы монакрысталічнай падкладкі, кантроль малекулярнага пучка да адначасова скануючы падкладку, малекулы або атамы ў пластах выраўноўвання крышталяў могуць утварыць тонкую плёнку на падкладцы "рост".
Для нармальнай працы абсталявання MBE вадкі азот высокай чысціні, нізкага ціску і звышчысты азот патрабуецца бесперапынна і стабільна транспартаваць у халадзільную камеру абсталявання. Як правіла, бак, які забяспечвае вадкі азот, мае выхадны ціск ад 0,3 МПа да 0,8 МПа. Вадкі азот пры -196 ℃ лёгка выпараецца ў азот падчас транспарціроўкі па трубаправодзе. Калі вадкі азот з суадносінамі газ-вадкасць каля 1:700 будзе газіфікаваны ў трубаправодзе, ён зойме вялікую колькасць прасторы для патоку вадкага азоту і паменшыць нармальны паток у канцы трубаправода для вадкага азоту. Акрамя таго, у рэзервуары для захоўвання вадкага азоту, верагодна, ёсць смецце, якое не было ачышчана. У трубаправодзе вадкага азоту існаванне вільготнага паветра таксама прывядзе да адукацыі ледзянога шлаку. Калі гэтыя прымешкі трапляюць у абсталяванне, гэта прывядзе да непрадказальных пашкоджанняў абсталявання.
Такім чынам, вадкі азот у вонкавым рэзервуары для захоўвання транспартуецца да абсталявання MBE у цэху без пылу з высокай эфектыўнасцю, стабільнасцю і чысцінёй, нізкім ціскам, без азоту, без прымешак, 24 гадзіны бесперапынна, такая сістэма кантролю транспарціроўкі кваліфікаваны прадукт.
Адпаведнае абсталяванне MBE
З 2005 года HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) займаецца аптымізацыяй і паляпшэннем гэтай сістэмы і супрацоўнічае з міжнароднымі вытворцамі абсталявання для MBE. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA, REBER, маюць адносіны супрацоўніцтва з нашай кампаніяй. Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA і REBER, супрацоўнічалі ў вялікай колькасці праектаў.
Riber SA з'яўляецца вядучым сусветным пастаўшчыком прадуктаў малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) і спадарожных паслуг для даследаванняў паўправаднікоў і прамысловага прымянення. Прылада Riber MBE можа наносіць вельмі тонкія пласты матэрыялу на падкладку з вельмі высокім кантролем. Вакуумнае абсталяванне HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) абсталявана Riber SA. Самае вялікае абсталяванне - Riber 6000, а самае маленькае - Compact 21. Яно знаходзіцца ў добрым стане і было прызнана кліентамі.
DCA з'яўляецца вядучым у свеце аксід MBE. З 1993 года вядзецца планамерная распрацоўка метадаў акіслення, антыаксідантнага падагрэву падкладкі і антыаксідантных крыніц. Па гэтай прычыне многія вядучыя лабараторыі выбралі аксідную тэхналогію DCA. Кампазітныя паўправадніковыя сістэмы MBE выкарыстоўваюцца ва ўсім свеце. Сістэма цыркуляцыі вадкага азоту VJ крыягеннага абсталявання HL (HL CRYO) і абсталяванне MBE некалькіх мадэляў DCA маюць адпаведны вопыт у многіх праектах, такіх як мадэлі P600, R450, SGC800 і г.д.
Табліца прадукцыйнасці
Шанхайскі інстытут тэхнічнай фізікі Кітайскай акадэміі навук |
11-ы інстытут Кітайскай карпарацыі электронных тэхналогій |
Інстытут паўправаднікоў Кітайскай акадэміі навук |
Huawei |
Акадэмія Alibaba DAMO |
Кампанія Powertech Technology Inc. |
Кампанія Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Час размяшчэння: 26 мая 2021 г