Праект Chip MBE, завершаны за апошнія гады

Тэхналогіі

Малекулярна-прамянёвая эпітаксія, або MBE, - гэта новая методыка вырошчвання высакаякасных тонкіх плёнак крышталяў на крышталічных падкладках.Ва ўмовах звышвысокага вакууму, ацяпляльная пліта абсталявана ўсімі відамі неабходных кампанентаў і выпрацоўвае пар, праз адтуліны, якія ўтвараюцца пасля калімацыі пучка атамнага або малекулярнага пучка, прамы ўпырск да адпаведнай тэмпературы монакрысталічнай падкладкі, кантроль малекулярнага пучка да адначасова скануючы падкладку, малекулы або атамы ў пластах выраўноўвання крышталяў могуць утварыць тонкую плёнку на падкладцы "рост".

Для нармальнай працы абсталявання MBE вадкі азот высокай чысціні, нізкага ціску і звышчысты азот патрабуецца бесперапынна і стабільна транспартаваць у халадзільную камеру абсталявання.Як правіла, бак, які забяспечвае вадкі азот, мае выхадны ціск ад 0,3 МПа да 0,8 МПа. Вадкі азот пры -196 ℃ лёгка выпараецца ў азот падчас транспарціроўкі па трубаправодзе.Калі вадкі азот з суадносінамі газ-вадкасць каля 1:700 газіфікуецца ў трубаправодзе, ён зойме вялікую колькасць прасторы для патоку вадкага азоту і паменшыць нармальны паток у канцы трубаправода для вадкага азоту.Акрамя таго, у рэзервуары для захоўвання вадкага азоту, верагодна, ёсць смецце, якое не было ачышчана.У трубаправодзе вадкага азоту існаванне вільготнага паветра таксама прывядзе да адукацыі ледзянога шлаку.Калі гэтыя прымешкі трапляюць у абсталяванне, гэта прывядзе да непрадказальных пашкоджанняў абсталявання.

Такім чынам, вадкі азот у вонкавым рэзервуары для захоўвання транспартуецца да абсталявання MBE у цэху без пылу з высокай эфектыўнасцю, стабільнасцю і чысцінёй, нізкім ціскам, без азоту, без прымешак, 24 гадзіны бесперапынна, такая сістэма кантролю транспарціроўкі кваліфікаваны прадукт.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Адпаведнае абсталяванне MBE

З 2005 года HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) займаецца аптымізацыяй і паляпшэннем гэтай сістэмы і супрацоўнічае з міжнароднымі вытворцамі абсталявання для MBE.Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA, REBER, маюць адносіны супрацоўніцтва з нашай кампаніяй.Вытворцы абсталявання MBE, у тым ліку DCA і REBER, супрацоўнічалі ў вялікай колькасці праектаў.

Riber SA з'яўляецца вядучым сусветным пастаўшчыком прадуктаў малекулярна-прамянёвай эпітаксіі (MBE) і спадарожных паслуг для даследаванняў паўправаднікоў і прамысловага прымянення.Прылада Riber MBE можа наносіць вельмі тонкія пласты матэрыялу на падкладку з вельмі высокім кантролем.Вакуумнае абсталяванне HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) абсталявана Riber SA. Самае вялікае абсталяванне - Riber 6000, а самае маленькае - Compact 21. Яно знаходзіцца ў добрым стане і было прызнана кліентамі.

DCA з'яўляецца вядучым у свеце аксід MBE.З 1993 года вядзецца планамерная распрацоўка метадаў акіслення, антыаксідантнага падагрэву падкладкі і антыаксідантных крыніц.Па гэтай прычыне многія вядучыя лабараторыі выбралі аксідную тэхналогію DCA.Кампазітныя паўправадніковыя сістэмы MBE выкарыстоўваюцца ва ўсім свеце.Сістэма цыркуляцыі вадкага азоту VJ крыягеннага абсталявання HL (HL CRYO) і абсталяванне MBE некалькіх мадэляў DCA маюць адпаведны вопыт у многіх праектах, такіх як мадэлі P600, R450, SGC800 і г.д.

tcm (2)

Табліца прадукцыйнасці

Шанхайскі інстытут тэхнічнай фізікі Кітайскай акадэміі навук
11-ы інстытут Кітайскай карпарацыі электронных тэхналогій
Інстытут паўправаднікоў Кітайскай акадэміі навук
Huawei
Акадэмія Alibaba DAMO
Кампанія Powertech Technology Inc.
Кампанія Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Час размяшчэння: 26 мая 2021 г